電子級氫氧化鉀純級分類有(yǒu)哪些區別
氫氧化鉀化學式:KOH,又名(míng)苛性鉀、苛性堿、鉀(jiǎ)灰。外觀為白色粉末狀固(gù)體,用途十分(fèn)廣泛(fàn),多用於幹燥、電鍍、化工原(yuán)料。純品的氫(qīng)氧化鉀(jiǎ)為(wéi)白(bái)色的斜方結晶,而工業品則多為白色或淡灰色的塊狀或棒狀固體。
電子級氫氧化(huà)鉀可分為UP—S級、UP級、EL級三類:
1、UP-S級:適用0.35-0.8微米集成電路加工(gōng)工藝,金(jīn)屬(shǔ)雜質含量小於1ppb,經過0.05微米孔徑過濾器過濾,控(kòng)製0.2微米粒子,在100級淨化環境中灌裝達到SEMI C8標準(zhǔn)。
2、UP級:適用(yòng)1微米集成電路及TFT-LCD製造工藝,金屬雜質含量小於10ppb,經過0.2微米孔徑過(guò)濾器過濾,控製0.5微米粒子,在100級淨化環境中灌裝(zhuāng),達到(dào)SEMI C7標準
3、EL級:金屬雜質含量小於100ppb,控(kòng)製1微米粒徑粒子,達到SEMI C1 C2標準,適合中小規(guī)模集成電路及(jí)電子元件加工工藝。
電子級氫氧化鉀純度要求十分(fèn)高,主要應用於製備電子設備,尤其是近年來(lái)微小化電子設備的發展,對電子級試劑的應(yīng)用(yòng)就顯(xiǎn)得尤為重要。
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